激光跟踪仪被誉为工业测量皇冠上的明珠，可对百米空间内目标的三维坐标进行精密跟踪测量。中图仪器历经数年潜心研发推出具有自主知识产权、达到国际先进水平的GTS激光跟踪仪，将为航空航天、能源重装、船舶重工、汽车制造、轨道交通等大型工业行业提供有力的测量技术支撑。
有图晶圆关键尺寸及套刻量测系统应用在Fab厂，用于把控Wafer关键尺寸是否合格及套刻偏移量的计算与补偿。
实现产品的自动上料、自动检测、根据检测结果自动分拣下料
