中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器，其分辨率可达0.1nm。半导体产业作为超精密加工领域一颗璀璨的明珠，在其硅晶圆的制备和晶圆IC的制造过程中，光学3D表面轮廓仪都以其强大的表面质量检测功能给这颗明珠增添一份靓丽的色彩。
光学，一门古老又现代的学科，伽利略借助光学望远镜，研究了天体运动；生物学家借助光学显微镜，观察到了细胞结构；人类借助相机镜头，留住了无数难忘的瞬间。光，无可触摸，却又无处不在，借助光学，我们能直接感受和探索未知的世界，而作为光的载体，各种光学器件在其中承担着重要的角色，借助中图仪器白光干涉仪，我们可以对光学器件进行严格的表面质量检测。
回转轴的精度直接影响到五轴机床的整体加工精度。回转轴的检测因此至关重要，本文将从SJ6000激光干涉仪检测回转轴的现有方法进行讨论，给大家推荐中图仪器激光干涉仪的附件WR50自动精密转台检测回转轴。
影响激光干涉仪测量精度的环境因素主要指： 1、当前测量环境下的空气温度、湿度、大气压力，影响在空气中传播的激光波长。 2、被测工件温度，影响被测对象的热膨胀量。本文不做分析，将在下篇细述。
在机械行业加工厂的流水线上，一些精密部件经过各部门的加工后，成为半成品待组合安装使用，在安装使用之前还有一道重要的工序，那就是检测这些精密部件的外形尺寸是否合格。以国内某大型电子代工厂为例，在生产手机后盖的流水线上，需要用数显高度计检测每一个手机后盖内凹面到金属后盖边缘的高度，以及后盖上边缘距下边缘的高度，左边缘距离右边缘的宽度。
采用中图仪器SJ6000激光干涉仪对测量机的动态误差进行了测量.通过测量部件之间的相互偏转来间接得到测头的动态位移误差
SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
表面三维微观形貌的测量方法非常丰富，通常可分为接触式和非接触式两种，其中以非接触式测量方法为主。下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术：扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。
中图仪器SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在MEMS测试项目中，表面特性（粗糙度、台阶高）是一个非常重要的项目，目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪）进行测量
