表面三维微观形貌的测量方法非常丰富，通常可分为接触式和非接触式两种，其中以非接触式测量方法为主。下面介绍其中一种近年来国际上研究比较多的、发展也相对比较成熟的技术：扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌技术。
中图仪器SuperView W1白光干涉仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
在MEMS测试项目中，表面特性（粗糙度、台阶高）是一个非常重要的项目，目前主要是采用非接触式的光学3D轮廓仪(白光干涉仪）进行测量
测量模芯曲面，最经济、最有效的方式就就是采用粗糙度轮廓测量仪，中图仪器自主研发的SJ5701粗糙度轮廓测量仪在模具中有着广泛应用，特别是针对一些有外形要求，形状尺寸要求、不规则曲面及表面粗糙度要求的模芯有独特的优势。
光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器
白光干涉仪目前在3D检测领域是精度最高的测量仪器之一，在同等系统放大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，除了白光干涉仪，其它的仪器无法达到其加工精度要求。
中图仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪可对硅晶片平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
激光检测设备中，主要有激光干涉仪、激光平面干涉仪、激光跟踪仪，但是很多朋友弄不清这三者的区别和应用，下面小编就来详细介绍这三者的区别，让您不在犯晕！！！
如何在测长机上准确地进行渐开线花键规的跨棒距（棒间距）测量，是目前国内外测长机较难破解的一道难题，中图仪器SJ5100高精度光栅测长机针对此应用进行了独特设计及算法修正，较好地解决了这个难题。
工业制造的成品、半成品都需要用到轮廓测量仪来检测工件的外轮廓参数是否达到加工标准。下面就来分析中图仪器SJ5700轮廓测量仪的使用方法与测量原理。
